硅烷表面处理技术工程的基础理论

表面处理技术工程是—门应用性很强的学科，但是它涉及的基础理论却十分广泛，并且随着表面工程的发展而扩展和深化。本书主要从应用出发，涉及下列应用基础理论：

1.真空状态及树薄气体理论

许多表面工程的研究与应用都汐及到真空方面的理论和技术，为此要深入研究有些气体尤其是稀薄气体中的现象和基本定律。其中的重点有两个：一是用气体分子运动论来研究稀簿气体中的现象，二是稀强气体的一些电现象。

2.液体及其表面现象

液体的聚集状态介于气体和固体之间。液体的表面张力、润温与毛细管现象、粘滞性、表面吸附等原理在表面工程中经常应用。表面活性剂能显著改善表(界)面性质，应用甚广。

3.固体及其表面现象

固体材料是工程技术中员普遍使用的材料。固体表面结构不能简单地看作体相结构的终止，而是看作发生了显著的变化；是化学组成常和体相不同，包括化学组成在表面上的分布和垂直方向上的浓度梯度；二是表面原子往往倾向于进入新的平衡位置，改变原子间的距离，改变配位数，甚至重建表面原子排列结构；三是表面电子结构的改变，例如晶体表面由于原子排列三维平移周期性中断，或因表面重构、吸附等变化而产生的不同于体相的电子能态，四是表面上外来物的吸附。由于上述结构和组成上的变化，固体表面性质有了显著的改变，并且描述三维体相物质属性的定律，已经不能使用于描述固体的表面现象。因此，掌握表面工程中有关固体及表面结构和组成、表面热力学、表面动力学等方面的知识显得更为重要。